طراحی و شبیه سازی تراشه های فرکانس بالای پسیوMEMS
/رقیه رفعت نژاد
: مهندسی فناوری های نوین
، ۱۳۹۴
چاپی
کارشناسی ارشد
مهندسی مکاترونیک
۱۳۹۴/۱۱/۱۰
تبریز
در این پایان نامه فیلترهای موجبر هم صفففحه ای CPW و مایکرواسففتریب با بهرگ ریری از سففاختار زمین ناق ص (DGS) و المان میکروالکترومکانیکی (MEMS) بررسفففی شفففد .عملکرد نیمه هادی ها، تکنولوژی MEMS ، مواد فروالکتریک، مواد فرومغناطیسففی و دند تا از سففاختارهای DGS در فیلترها مطالعه رردید :سفف س یک فیلتر میان نگذر با سففاختار DGS جدید و المان MEMS طراحی و شففبیه سازی شد .در ابتدا ساختار واحد فیلتر همراگ با DGS و المان MEMS طراحی و س س مدل پیشنهادی شبیه سازی شد .جهت بررسی بیشتر سعی بر آن شد تا مدل مداری طرح پیشنهادی نیز مطرح رردد .در این پروژگ ساختار واحد DGS خود به تنهایی یک فیلتر میان نگذر با فرکانس مرکزی ۲۸(GHz) و پهنای باند ۱۶(GHz) را در ( ۱۰ - ) dBنتیجه می دهد .نتایج در مقایسه با مقالات مشابه دارای پهنای باند بیشتر و ابعاد کمتری است .المان MEMS نیز جهت تنظیم فرکانس مرکزی و پهنای باند در نظر ررفته شد IV .زیر لایه از جنس شیشه) ۷۸).=۳r و سطح زمین، هادی کامل و جنس المان MEMS نیز آلومینیم است.
This thesis studies coplanar waveguide (CPW) and microstrip filters by using defected ground structure (DGS) and micro electro mechanical systems (MEMS). First, the operation of semiconductors, MEMS technology, Ferro Electric and Ferro Magnetic substances and some of DGS structures in filters have been studied. After words, a band- stop filter with a new DGS structure and MEMS element has been designed and simulated. In the second part, unit structure filter with DGS and MEMS element has been studied. Then proposed design has been simulated by HFSS software. For more investigation, the equivalent circuit of the design is presented, too. In this thesis, unit structure DGS itself operates as a bond-stop filter at 16 GHz (10 dB) Bandwidth and 27 GHz center frequency. The obtained result has more Bandwidth and compact size in comparison to similar works. The added MEMS element is considered for adjusting center frequency and Bandwidth. Substrate is made of glass (r = 3.78); the ground plane is selected perfect electric conductor (PEC) and the MEMS element's material is Aluminum