عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
TK،7871.15،.F5,D46
TK
،
7871
.
15
،.
F5
,
D46
کتابخانه
محل استقرار
اطلاعات محلی رکورد
نوع مدرک
English Book
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Deposition and growth: limits for microelectronics
نام نخستين پديدآور
editor: G.W. Rubloff
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
New York
نام ناشر، پخش کننده و غيره
American Institute of Physics
تاریخ نشرو بخش و غیره
1986-
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
v. : ill. ; 25 cm.
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
عنصر شناسه ای
Vacuum
عنصر شناسه ای
Vacuum technology
رده بندی کنگره
شماره رده
TK
نشانه اثر
7871
.
15
شماره رکورد رده بندي
.
F5
,
D46
نام شخص - ( مسئولیت معنوی درجه دوم )
عنصر شناسه اي
American Vacuum Society
عنصر شناسه اي
American Institute of Physics
