عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شابک
081949092X
شابک
9780819490926
شماره کتابشناسی ملی
شماره
dltt
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Introduction to semiconductor technology /
نام عام مواد
[Book]
نام نخستين پديدآور
Hong Xiao.
وضعیت ویراست
وضعيت ويراست
2nd ed.
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Bellingham, Wash. :
نام ناشر، پخش کننده و غيره
SPIE Press,
تاریخ نشرو بخش و غیره
2012.
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xxx, 664 p. :
ساير جزييات
ill. ;
ابعاد
26 cm.
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index.
یادداشتهای مربوط به مندرجات
متن يادداشت
Preface to the first edition -- Preface to the second edition -- Chapter 1. Introduction -- Chapter 2. Introduction to integrated circuit fabrication -- Chapter 3. Semiconductor basics -- Chapter 4. Wafer manufacturing, epitaxy, and substrate engineering -- Chapter 5. Thermal processes -- Chapter 6. Photolithography -- Chapter 7. Plasma basics -- Chapter 8. Ion implantation -- Chapter 9. Etch -- Chapter 10. Chemical vapor deposition and dielectric thin films -- Chapter 11. Metallization -- Chapter 12. Chemical mechanical polishing -- Chapter 13. Process integration -- Chapter 14. Integrated circuit processing technologies -- Chapter 15. Future trends and summary -- Index.
بدون عنوان
0
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
Integrated circuit fabrication is a complex process, and engineers must have a deep understanding of the intricate technolgies involved in order to be successful. This book, intended for technical and college students, provides an overview of key concepts, equipment, and techniques used in fabs today. A history of the field is included as context for modern practictioners. The second edition covers advancements made in the past decade and adds new illustrations.
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Semiconductor industry.
موضوع مستند نشده
Semiconductors-- Design and construction.
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Xiao, Hong.
نام تنالگان _ (مسئولیت معنوی برابر)
مستند نام تنالگان تاييد نشده
SPIE (Society)
مبدا اصلی
تاريخ عمليات
20121219102348.0
دسترسی و محل الکترونیکی
نام الکترونيکي
مطالعه متن کتاب اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
[Book]
اطلاعات دسترسی رکورد
تكميل شده
Y
