عنوان
پدید آورنده
موضوع
رده
NE2425 .O38 2010
NE2425
.
O38
2010
کتابخانه
محل استقرار
شابک
شابک
0819475629
شابک
1118030028
شابک
9780819475626
شابک
9781118030028
شماره کتابشناسی ملی
شماره
b701075
عنوان و نام پديدآور
عنوان اصلي
Chemistry and lithography /
نام عام مواد
[Book]
نام نخستين پديدآور
Uzodinma Okoroanyanwu.
وضعیت نشر و پخش و غیره
محل نشرو پخش و غیره
Hoboken, N.J. :
نام ناشر، پخش کننده و غيره
Wiley,
تاریخ نشرو بخش و غیره
©2010.
مشخصات ظاهری
نام خاص و کميت اثر
xxix, 861 pages :
ساير جزييات
illustrations ;
ابعاد
26 cm.
فروست
عنوان فروست
Press monograph ;
مشخصه جلد
192
یادداشتهای مربوط به کتابنامه ، واژه نامه و نمایه های داخل اثر
متن يادداشت
Includes bibliographical references and index.
یادداشتهای مربوط به مندرجات
متن يادداشت
Part I: Origins, inventions, and the evolution of lithography. 1. Introduction to lithography -- 2. Invention of lithography and photolithography -- 3. Optical and chemical origins of lithography -- 4. Evolution of lithography.
متن يادداشت
Part II: Lithographic chemicals. 5. Lithographic chemicals -- 6. Negative resists -- 7. Positive resists -- 8. General considerations on the radiation and photochemistry of resists -- 9. Antireflection coatings and reflectivity control.
متن يادداشت
Part III: The practice of lithography. 10. Stone, plate, and offset lithography -- 11. The semiconductor lithographic process -- 12. Lithographic modeling -- 13. Optical lithography -- 14. X-ray and extreme-ultraviolet lithographies -- 15. Charged particle lithography -- 16. Lithography in integrated circuit device fabrication -- 17. Advanced resist processing and resist resolution limit issues -- Afterword -- Index.
بدون عنوان
0
بدون عنوان
0
بدون عنوان
0
یادداشتهای مربوط به خلاصه یا چکیده
متن يادداشت
This book provides a comprehensive treatment of the chemical phenomena in lithography in a manner that is accessible to a general readership. The book presents topics on the optical and charged particle physics practiced in lithography, with a broader view of how the marriage between chemistry and optics has made possible the print and electronic revolutions of the digital age. The related aspects of lithography are thematically presented to convey a unified view of the developments in the field over time, from the very first recorded reflections on the nature of matter to the latest developments at the frontiers of lithography science and technology.
موضوع (اسم عام یاعبارت اسمی عام)
موضوع مستند نشده
Chemistry, Technical.
موضوع مستند نشده
Lithography.
موضوع مستند نشده
Chemie.
موضوع مستند نشده
Chemie.
موضوع مستند نشده
Chemistry, Technical.
موضوع مستند نشده
Lithographie.
موضوع مستند نشده
Lithographie.
موضوع مستند نشده
Lithography.
رده بندی ديویی
شماره
621
.
3815/31
ويراست
22
رده بندی کنگره
شماره رده
NE2425
نشانه اثر
.
O38
2010
سایر رده بندی ها
شماره رده
VE
6300
کد سيستم
rvk
نام شخص به منزله سر شناسه - (مسئولیت معنوی درجه اول )
مستند نام اشخاص تاييد نشده
Okoroanyanwu, Uzodinma.
نام تنالگان _ (مسئولیت معنوی برابر)
مستند نام تنالگان تاييد نشده
Society of Photo-optical Instrumentation Engineers.
مبدا اصلی
تاريخ عمليات
20201207164732.0
دسترسی و محل الکترونیکی
نام الکترونيکي
مطالعه متن کتاب اطلاعات رکورد کتابشناسی
نوع ماده
[Book]
اطلاعات دسترسی رکورد
تكميل شده
Y
